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反渗透在电子行业的应用

2012-04-13

  反渗透在电子行业的应用

  电子元器件的制造需要大量高品质的纯水、超纯水,电子级超纯水是目前世界上纯净品质要求最高的水.电子工业用的超纯水,例如广泛用于生产计算机硬盘,集成电路芯片,半导体,显像管,液晶显示器,线路板等用的纯水,对水的纯度要求较高,对出水电阻率的要求达到上(MΩ.cm)级。

  随着电子工业的发展对高纯水提出了越来越高的要求。例如,制作16K位DRAM允许水中TOC(总有机碳)为500ppb、金属离子为1ppb、≥0.2μm的颗粒为100个/毫升;而制作16M位DRAM时,则要求TOC<5ppb、金属离子<0.2ppb、水中≥0.1μm颗粒数为0.6个/升。

  可以说在电子级超纯水制备系统中汇集了当前水处理技术最先进的工艺和设备,如超滤、微滤、反渗透、膜脱气、电去离子(EDI)等,其中反渗透装置是整个纯水、超纯水制备系统工程中一关键的设备.它能有效地去除原水中97%以上的溶解性无机物质、99%以上的相对分子质量大于300的有机物、99%以上的包括细菌在内的各种微粒和95%以上的二氯化硅.

  反渗透工艺在纯水、超纯水制备系统工程中的应用,不但能提高了产水品质,降低生产成本,而且防止环境污染,有力地推进了电子工业的进步,同时也促进了纯水、超纯水制造技术的发展.

  在我国RO应用于电子工业水处理的报道,最早可追溯到1981年,RO技术就己成功应用于大规模集成电路超纯水制备。此后,不断出现RO制取超纯水工艺流程研究和更大规模超纯水制备的报道。2004年4月,国家海洋局杭州水处理技术开发中心为乐金飞利浦曙光电子有限公司设计和建成的13Om3/hRO彩色显象管废水回收项目是RO纯水制备技术在电子工业领域应用的拓展。该项目是迄今我国第一个较大规模进行彩色显象管生产企业废水回用项目。

  通过国家“七五”、“八五”科技攻关项目的实施我国超纯水制备系统工程设计和成套能力有了很大的提高,掌握了整套工程的系统工艺设计、设备制造和成套、安装调试、技术培训等关键技术,工程应用技术已达到了国际水平。

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