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EDI超纯水设备的进水水质指标控制手段

2015-08-24 13:23:04

  EDI进水的水质要求如表所示,可以保证其出水指标达到电子行业半导体制造需要的高纯水的要求。

  系统进水水质指标控制手段

  (1)进水电导率的控制。严格控制前处理过程中的电导率,使EDI进水电导率小于40μS/cm,可以保证出水电导率合格以及弱电解质的去除。

  (2)工作电压-电流的控制。系统工作时应选择适当的工作电压-电流。同时由于EDI净水设备的电压-电流曲线上存在一个极限电压-电流点的位置,与进水水质、膜及树脂的性能和膜对结构等因素有关。为使一定量的水电离产生足够量H+和OH-离子来再生一定量的离子交换树脂,选定的EDI净水设备的电压-电流工作点必须大于极限电压-电流点。

 

超纯水设备

超纯水设备

  (3)进水CO2的控制。可在RO前加碱调节pH,最大限度地去除CO2,也可用脱气塔和脱气膜去除CO2。

  (4)进水硬度的控制。可结合除CO2,对RO进水进行软化、加碱。进水含盐量高时,可结合除盐增加一级RO或纳滤。

  (5)TOC的控制。结合其他指标要求,增加一级RO来满足要求。

  (6)浊度、污染指数的控制。浊度、污染指数是RO系统进水控制的主要指标之一,合格的RO出水一般都能满足EDI的进水要求。

  (7)Fe的控制。运行中控制EDI进水的Fe低于0.01mg/L。如果树脂已经发生了“中毒”,可以用酸溶液作复苏处理,效果比较好。

 

超纯水设备图片

超纯水设备

  EDI的经济技术特点

  EDI技术的最大特点是用电场和离子膜取代离子交换树脂的化学再生,使RO+EDI纯水系统在设备结构、使用操作、运行费用等方面与RO+混床相比具有明显优势。并克服了再生树脂所产生的废水排放问题。

  (1)EDI系统不需使用酸碱溶液对树脂进行再生,避免了再生造成的废水污染。同时,EDI排放的浓水可直接回到RO之前再利用,这样EDI单元可以做到没有废水排放,没有二次污染。

  (2)EDI不用酸碱再生树脂,使纯水系统设备结构简化,投资节省,操作简化,运行费用降低。

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